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管式真空除气炉(1000℃)

  CNT1000型管式真空除气炉主要为工厂、高等院校,科研院所等单位的实验室,提供具有高温、高真空、除气的 试验环境, 广泛应用在半导体、航空航天、核能等领域。

管式真空除气炉(1000℃)

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管式真空除气炉(1000℃)

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  • 产品详情


    设备主要由管式加热炉、真空腔体、真空抽气及放气系统、 智能控制系统构成,可以对试验过程中的真空度和温度进行有效地控制、监测和记录,具有结构简单、操作方便安全、外形美观等特点。

1.管式炉最高加热温度1000℃,升温速率015/min可调;

2.管式炉采用对开式结构,开启方便,快捷;

3.均温区内温场均匀性±3℃,升温过程中,有效加热区平均升温速率≤4/min前提下,温度过冲不大于设置温度3℃;

4.真空室采用卧式结构,材质为高纯石英,满足设备在百级洁净间下的使用要求;

5.工件托架采用石英材质,可容纳直径200mm,12片晶圆;

6..设备可在高真空200℃情况下连续工作72小时以上,温度波动<2℃;

7.真空室可充入氮气、氩气,流量精确可控, 加装分流装置,并设置挡板,防止充气过快对产品有冲击;

8.配分子泵真空度6×10-4pa

9、配高精度铠装热电偶;

10.采用西尼特智能温控软件,PLC控制,配7寸触摸屏,可设定30条工艺曲线,每条工艺曲线30步,可实时显示存储相关温度曲线,存储时间长达1200天。配备USB和以太网接口,可远程监控;

11.本设备可以根据用户需要提供定制;


设备图

晶圆

石英托架

 


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