产品特点

u 双腔体设计，分为生长腔体和冷却腔

u 生长腔体采用进口高纯石墨，耐腐蚀寿命长

u 冷却室采用双层水冷不锈钢，氮气保护、可快速降温，配测温模块，可实时显示冷却室温度

u 升降机构采用进口步进电机，运动平稳可靠

u 采用高精度直流电源，可精确调整输出的电压电流

u 阴极选用钼或钨

u 密封法兰均采用耐腐蚀不锈钢，配水冷套，可长时间连续稳定工作

u 系统标配机械泵，真空度约50pa

u 双层壳体设计，配空气冷却层，表面温度低

u 保温材料采用进口氧化铝纤维

u 优质的硅碳棒加热元件，发热量高、 寿命长

u 选配尾气吸收装置，通过碱液吸收挥发物

             采 用触摸屏 智能化程序温控系统，可设置 30 个不同程序段，每个程序段可编程30 个加热段

  u 最高温度：1 3 00℃，连续工作温度 1 200℃

  u 温度控制精度：±1 ℃

  u 温度均匀性：≤ ± 5℃

  u 升温速率：最快升温3 0℃/min

  u 高精度直流电源,低纹波、低噪声

  u  支持232＆485通讯接口

  u 0-60V连续可调

  u 电压精度小于0.1%，电流精度小于0.2%

  u 采用集成化设计，占地面积小

  u 支持非标定制

技术参数